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　　高纯度气体质量流量计_进口高纯度气体质量流量计

　　高纯度气体质量流量计可检测Air、He、Ar、N2、O2、H2、NO、CO、CH4、NH3、N2O、NO2、CO2等高纯度气体的质量流量计，产品品质可与进口产品媲美，一下以我们MFM610系列高纯度气体质量流量计为大家说明介绍！

　　高纯度气体质量流量计 产品特性：

　　容易安装及维护

　　支持多种通讯协议

　　高精度、高稳定性、极低的零漂

　　可测气体种类多

　　带流量累积量输出

　　含一路可编程流量报警输出端口

　　可用于气密测试设备

　　高纯度气体质量流量计 技术指标：

　　流量规格：0~5,10,50,100,300,600,1000sccm(mL/min)

　　显示精度：0.1sccm(mL/min)

　　准 确 度：±0.05％F.S.

　　线 性 度：±0.1％F.S.

　　重复精度：±0.05％F.S.

　　工作压差：0~1MPa

　　耐压：1MPa

　　环境温度：0~65℃

　　电气连接：DB9

　　输出信号：LCD、RS232、RS485、CAN（数字协议带电气隔离）

　　电        源：15~40VDC

　　标准气路接头：M8*1卡套接头、4mm快拧、6mm快拧

　　气路管径：3~3.2mm、4mm、6mm（外径）

　　可测量气体种类：Air、He、Ar、N2、O2、H2、NO、CO、CH4、NH3、N2O、NO2、CO2

　　高纯度气体质量流量计更多信息请联系我们